采用先進的控制技術,能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動??;
全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;
可選配新設計的防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率低;
適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。
參數\型號 | HCVD-101015-ZrC | HCVD-152023-ZrC | VCVD-0608-ZrC | VCVD-0812-ZrC | VCVD-1120-ZrC | VCVD-1218-ZrC | VCVD-1520-ZrC |
工作區尺寸 W×H×L(mm) | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
最高溫度(℃) | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
溫度均勻性(℃) | ±10/±15 | ±15/±20 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。
結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質:石墨/CFC
熱電偶:C/S分度號
紅外儀:單比色/雙比色
真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組